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高純氣體管道配管參考 所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點（POU），為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。