天津?qū)嶒?yàn)室高純氣路布局

　　高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來(lái)說(shuō)，要求管道不要太長(zhǎng)，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管"。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中，讓少量氣體在管道末端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動(dòng)，避免出現(xiàn)“死區(qū)"。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，必要時(shí)應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來(lái)說(shuō)，控制閥、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀器等。進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統(tǒng)一管理和控制。

　　高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對(duì)氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例如，半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過(guò)程和精細(xì)加工，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù)，對(duì)氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格，10-6 (ppm級(jí))不能滿足要求。需要達(dá)到10-9 (ppb級(jí))甚至10-12(ppt級(jí))，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

　　管道材料的特性對(duì)于輸送高純氣體的管道，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

　　供氣系統(tǒng)管道安裝要求

　　、管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，設(shè)計(jì)沒(méi)有要求時(shí)，干氣管道應(yīng)水平安裝;輸送濕氣的管道應(yīng)安裝坡度不小于0.003，坡度應(yīng)朝向冷凝水收集器。

　　管道采用焊接連接，鎢極氬弧焊打底，手工電弧焊覆蓋。不銹鋼管焊接或點(diǎn)焊應(yīng)采取充氬保護(hù)措施

　　氣體管道和設(shè)備、閥門和其他附件應(yīng)通過(guò)法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜

　　、氣體管道穿過(guò)潔凈室時(shí)，法蘭墊片或螺紋填料的外露部分，必須清理干凈

　　氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無(wú)縫鋼管時(shí)，必須采用集中安裝方式，安裝應(yīng)在48小時(shí)內(nèi)分段組合，氮?dú)獗Ｗo(hù)，填充壓力不小于0.2兆帕

　　對(duì)于有接地要求的燃?xì)夤艿?，法蘭之間必須焊接導(dǎo)電跳線。導(dǎo)體截面和焊接搭接長(zhǎng)度應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。焊點(diǎn)必須牢固可靠。

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