伴隨我國(guó)半導(dǎo)體、電子行業(yè)的快速發(fā)展，
氣體管路設(shè)計(jì)系統(tǒng)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，像半導(dǎo)體、制芯、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都不同程度的使用了供氣系統(tǒng)，大宗供氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中必*的系統(tǒng)，其直接影響全廠生產(chǎn)的運(yùn)行和產(chǎn)品的質(zhì)量，因此氣體管道的施工對(duì)于我們來(lái)說(shuō)也越來(lái)越重要，要確保其安全性和經(jīng)濟(jì)性。
氣體管路設(shè)計(jì)要點(diǎn)：
必須根據(jù)工廠所需用氣量的情況，選擇合理和經(jīng)濟(jì)的供氣方式。氮?dú)獾挠昧客呛艽蟮模鶕?jù)其用量的不同，可考慮采用以下兩種方式供氣：
1、采用空分裝置現(xiàn)場(chǎng)制氮。這適用于N2用量很大的場(chǎng)合。集成電路芯片制造廠多采用此方式供氣，而且還同時(shí)設(shè)置液氮儲(chǔ)罐作為備用，氧氣和氬氣往往采用超低溫液氧儲(chǔ)罐配以蒸發(fā)器的方式供應(yīng)，氫氣則以氣態(tài)方式供應(yīng)，一般采用鋼瓶組(Bundle)即可滿(mǎn)足生產(chǎn)要求。
2、液氮儲(chǔ)罐，用槽車(chē)定期進(jìn)行充灌，高壓的液態(tài)氣體經(jīng)蒸發(fā)器(Vaporizer)蒸發(fā)為氣態(tài)后，供工廠使用。這是目前采用最多的一種方式。
大宗氣體輸送管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
經(jīng)純化后的大宗氣體由氣體純化間送至輔助生產(chǎn)層或生產(chǎn)車(chē)間的架空地板下，在這里形成配管網(wǎng)絡(luò)，再由二次配管系統(tǒng)送至各用戶(hù)點(diǎn)。
(2)配管系統(tǒng)的基本設(shè)計(jì)原則是在主管上按一定間距設(shè)置支管端，再在每個(gè)支管上按一定間距設(shè)置分支管供二次配管使用。另外，主管的管徑不必隨流量的遞減而采取漸縮設(shè)計(jì)。這種配管系統(tǒng)的確具有充分的靈活性，但由于超高純氣體管路的管件和閥件價(jià)格昂貴，該系統(tǒng)的成本之高也是顯而易見(jiàn)的。
通常，集成電路芯片廠的建設(shè)往往會(huì)分成若干個(gè)階段，一方面可以緩解一次性投資的巨大資金壓力，另一方面也可以根據(jù)市場(chǎng)狀況作出相應(yīng)的調(diào)整決策。在新廠建設(shè)的第一階段，設(shè)計(jì)產(chǎn)量往往不是很高，用氣點(diǎn)也不是很多，尤其是氫、氬、氧、氦的用氣點(diǎn)就更少。因此必須考慮如何來(lái)簡(jiǎn)化該配管系統(tǒng)以降低成本。
更新時(shí)間：2022-05-16 
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